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電子萬級潔凈室廠房的特性是:潔凈室等級標準高,排風量、溫濕度、壓差、專用設備排風系統按需可控,光照度、潔凈室的風速按設計或規范可控,還有此類潔凈室對靜電標準要求嚴格。尤其對濕度的標準尤為嚴格。假設廠房過于干燥則易產生靜電,造成CMOS集成損壞。
??電子萬級潔凈室廠房
??通常情況下,電子廠房的溫度應控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊凈化車間有相應溫濕度規定)。這時候可有效地消除靜電,并使人覺得舒適。芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業潔凈室的重要組成部分,由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的標準極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等做出了嚴格的規定。
??電子萬級潔凈室廠房內的噪聲級(空態):不應大于65dB(A)。
??電子萬級潔凈室廠房垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。
??電子萬級潔凈室廠房與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa。
??電子萬級潔凈室廠房內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
??保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
??電子萬級潔凈室廠房凈化空調系統加熱器,應設置新風,超溫斷電保護,若采用點加濕時應設置無水保護,寒冷地區,新風系統應設置防凍保護措施。無塵室的送風量,應取下面三項最大值:
??1、保證電子制造廠無塵室空氣潔凈室等級的送風量;
??2、根據熱,濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風量;
??3、向電子制造廠潔凈室內供給的新鮮空氣量;
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